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公司基本資料信息
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CVD（G）系列真空高溫管式爐專門設(shè)計用于高溫CVD工藝,如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。?窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)硅鉬棒加熱，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,?系統(tǒng)可預(yù)抽真空，氣體采用浮子流量計控制。進口單回路智能溫度控制儀控制，設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設(shè)備。?????????????????????
一、?技術(shù)指標(biāo)：
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設(shè)??備?型?號 |
NT-CVD(G)-08/50/1 |
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溫區(qū)最高溫度?? |
1650℃；(最長恒溫時間：≥10小時)；常用溫度：1600℃?(最長恒溫時間：≥100小時)?? |
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加熱有效容積 |
Φ72（內(nèi)經(jīng)）×500mm;恒溫區(qū)尺寸：Φ72（內(nèi)經(jīng)）×250mm?? |
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爐管實際尺寸 |
??Φ80（外徑）×1400mm?（國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管） |
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爐?膛?材??料?? |
氧化鋁纖維制品 |
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控制溫區(qū)點數(shù) |
1個，1支B分度熱偶 |
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設(shè)備溫場溫差 |
±1℃?，日本島電進口40段程序控制儀表(1只) |
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加?熱??元?件 |
????優(yōu)質(zhì)硅鉬棒 |
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最大加熱功率?? |
??12Kw |
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保?溫?功??率 |
???5kw |
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最大升溫速率 |
??3℃∽10℃/min; |
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??最大降溫速率 |
3℃∽7℃/min |
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???????? 溫度均勻性 |
±3℃(有效范圍：Φ72×250mm) |
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氣路配件材料?? |
氣路配件材料，端頭不銹鋼發(fā)蘭密封， 一路氣體采用浮子流量計控制，? 所有管道和閥門采用不銹鋼元件 |
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極?限?真??空?? |
≤10Pa（常溫）?,一級機械泵（配電磁閥）。 |
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壓升率 |
≤5Pa/h |
二、?
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1000時可抽真空，能通保護氮氣
外型參考尺寸????1250（L）×1650（H）×650（D）mm
輸入動力電源????單相電源，50HZ?，220V±10%；10KW
爐體表面溫升???≤45℃
