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壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應的單晶硅、擴散摻雜硅和多晶硅。根據晶體不受定向應力時,電導率是同性的,只有受定向應力時才表現出各向異性,由于應力能引起能帶的變化,能谷能量移動,導致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,從而產生壓阻效應。單晶硅效應包括n型和p型硅壓阻效應。選用擴散硅目的在于在設計 制造壓力傳感器時可根據不同溫度下硅擴散層的壓阻特性選擇合適的擴散條件,力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途,可作為微結構和填充材料、敏感材料。
壓力傳感器按用途分類主要是壓力***、壓力測量和壓力控制及轉換成其他量的測量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器,前者是被動供電的。
實現規(guī)模經濟生產后,可最大限度地降低生產成本,從而實現廉價傳感器的商品化。
業(yè)內專家認為,除了規(guī)模生產外,傳感器生產格局還應向專業(yè)化發(fā)展,專業(yè)化生產的內涵是:生產傳感器門類少而精;專門生產某一應用領域需要的某一類傳感器系列產品以獲得較高的市場占有率;各傳感器企業(yè)的專業(yè)化合作生產(如材料、元件芯片、裝配;芯片、外殼與底座、組裝等的合作生產),從而有效地避免企業(yè)內部的“大而全”,提高傳感器企業(yè)的經濟效益。
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