***氣體為強刺激性,不燃氣體,溶水后有強烈腐蝕性。產(chǎn)品包裝于高壓專用鋼瓶中,處于液態(tài)。專用鋼瓶為鋼質(zhì)無縫氣瓶,瓶內(nèi)拋光處理。瓶閥為抗腐蝕不銹鋼隔膜閥。鋼瓶設(shè)計壓力為12.5Mpa,工作壓力約5-6Mpa。
電子級(VLSI)***產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn),經(jīng)北京市科委鑒定,主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質(zhì)合金制造。電子級(VLSI)***產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn),經(jīng)北京市科委鑒定,主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質(zhì)合金制造。5.0N電子級(VLSI)***產(chǎn)品分別經(jīng)國家標準物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心抽樣檢驗,純度大于99.999%,總雜質(zhì)含量小于5ppm,產(chǎn)品性能指標與國 際品牌相當。5.0N電子級(VLSI)***產(chǎn)品經(jīng)國內(nèi)外多家半導(dǎo)體重點企業(yè)連續(xù)大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用,制得的器件產(chǎn)品質(zhì)量與國際知名品牌相當。
***產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝為本公司專利技術(shù),具有自主知識產(chǎn)權(quán),填補了國內(nèi)高純***產(chǎn)品生產(chǎn)空白。***產(chǎn)品參照SEMIC3.35-1101HCl標準,并執(zhí)行國家標準GB/T24469-2009(電子級)和企業(yè)標準Q/ZWDL001-2006(化學(xué)級)。***產(chǎn)品采用HCl專用鋼瓶包裝,鋼瓶符合國標GB5099-1994或DOT3AA標準,瓶閥為316L不銹鋼隔膜式閥,接口為CGA330。本公司提供***專用配套設(shè)施、設(shè)備、閥門、減壓器,并提供優(yōu)質(zhì)技術(shù)服務(wù)和售后服務(wù)。本公司具有完備的***專用鋼瓶脫水設(shè)備和技術(shù),為客戶提供鋼瓶處理和維修服務(wù)。