無塵室工程(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間編輯本段無塵室構(gòu)成 無塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:?、盘旎ò逑到y(tǒng) 包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)?!、瓶照{(diào)系統(tǒng) 包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等?!、歉魤Π澹?/span>Partitional wall) 包括窗戶、門?!、鹊匕濉“ǜ呒艿匕寤蚍漓o電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面?!、烧彰髌骶摺“ㄈ展鉄簟ⅫS色燈管等?!、薀o塵室之建筑主體構(gòu)造 一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件: A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕; B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子; C.吸濕性??; D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高