詳細說明
無塵車間的整廠規(guī)劃(Turn KeyProjects)(如表-)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項專業(yè)人才共同規(guī)劃，盡管不少無塵車間規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應盡可能事先確認下列事項：
. 潔凈度等級。 .室壓之平衡措施。
. 溫濕度要求。 .機器設備之必要性。
無塵車間標準-分類
.亂流式(TurbulentFlow)：
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵車間等級,-,級。
優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低，無塵車間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
.層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵車間等級需求較高之環(huán)境使用，一般其無塵車間等級為Class~。其型式可分為二種：
()無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在側污染較嚴重。
優(yōu)點：構造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
()無塵車間垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
.復合式(MixedType)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
()無塵車間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧良壱陨?，可?jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
()無塵車間潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
()無塵車間并裝局部無塵車間(CleanSpot)：將無塵車間等級,~,之亂流無塵車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為~級以上，以為生產(chǎn)之用；即屬此類。
無塵車間標準-氣流之流動
無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
無塵車間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達.~.%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵車間內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
