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基本參數(shù)
服務項目 瀏覽量0 發(fā)布時間2013-07-10
品牌kzone 所在地江蘇 蘇州 起訂≥1 普通
供貨總量未填 發(fā)貨0天內(nèi)發(fā)貨 有效期至2025-03-09
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詳細說明
適用于:2-6英寸晶圓清洗 產(chǎn)品規(guī)格 控制模式:全自動控制 整機尺寸:2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H) 工件:2-6寸晶圓 產(chǎn)能:25片/槽 可按客戶產(chǎn)能需求設計 操作高度:850±50mm 電源:380V 三相五線制,50HZ,14KW 設備特點: 1.led清洗設備骨架為SUS304外包3mmPP,外殼采用進口象牙白PVC板熱熔焊接; 2. led清洗設備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制; 3. led清洗設備槽體設置溫度、液位監(jiān)控制裝置; 4. led清洗設備藥液槽配透明槽蓋,有效防止藥液揮發(fā),污染; 5.led清洗設備清洗區(qū)域高效過濾器,無二次污染機會; 6.led清洗設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE 管進行保護,防腐防水; 7.led清洗設備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤,有效防止設備漏液損害廠務地板; 8.led清洗設備的機械臂手采用直線滑塊導向,反向安裝,減少油及粉塵污染且便于維護; 9.用戶操作人員上料后,全過程自動化控制,減少人工干預。設備具有自動化程度高、運行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點。 10.led清洗設備安全性能高,設備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設計,確保人身和廠務安全;

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