適用于:2-6英寸晶圓清洗
產(chǎn)品規(guī)格
控制模式:全自動控制
整機尺寸:2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H)
工件:2-6寸晶圓
產(chǎn)能:25片/槽 可按客戶產(chǎn)能需求設計
操作高度:850±50mm
電源:380V 三相五線制,50HZ,14KW
設備特點:
1.led清洗設備骨架為SUS304外包3mmPP,外殼采用進口象牙白PVC板熱熔焊接;
2. led清洗設備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制;
3. led清洗設備槽體設置溫度、液位監(jiān)控制裝置;
4. led清洗設備藥液槽配透明槽蓋,有效防止藥液揮發(fā),污染;
5.led清洗設備清洗區(qū)域高效過濾器,無二次污染機會;
6.led清洗設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE 管進行保護,防腐防水;
7.led清洗設備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤,有效防止設備漏液損害廠務地板;
8.led清洗設備的機械臂手采用直線滑塊導向,反向安裝,減少油及粉塵污染且便于維護;
9.用戶操作人員上料后,全過程自動化控制,減少人工干預。設備具有自動化程度高、運行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點。
10.led清洗設備安全性能高,設備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設計,確保人身和廠務安全;