一、 設(shè)備概況
A. 設(shè)備名稱:有機去膠清洗臺
B. 設(shè)備型號:KZIC-T-OGSW-05B
C. 整機尺寸:約1700mm(L)×1300mm(W)×1850mm(H);
D. 操作臺面高度:900±20mm
E. 被清洗工件規(guī)格:8 英寸圓片,25 片/籃(233mm*215mm*220mm);
F. 產(chǎn)能:1 籃/批,25 片/批;
G. 節(jié)拍 :0~99min 可調(diào);
H. 設(shè)備類型:半自動;
二、 設(shè)備構(gòu)造
A. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺骨架材質(zhì):國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)SUS304 骨架外包;
B. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺外殼材質(zhì):2mm 厚SUS304 鏡面板折彎焊接而成;
C. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺臺面材質(zhì):2mm 厚SUS304 鏡面板
D. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺去膠清洗槽:2mm 厚SUS316L 鏡面板折彎焊接加電解拋光;
E. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺QDR 槽:德國進口10mm PP-N 板熱熔焊接而成;
F. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺管路:管路位于機臺下/后部,管道采用SUS316 和PFA 管路相互配合使用;
G. 晶洲(kzone)半導(dǎo)體濕制程清洗設(shè)備-有機去膠清洗臺排風(fēng)消防:根據(jù)流體學(xué)原理設(shè)計位于機臺后上部,并配有導(dǎo)流和消防自動關(guān)閉裝置--如發(fā)現(xiàn)
著火,機臺會采集CO2 自動滅火器的信號,自動關(guān)閉風(fēng)量調(diào)節(jié)口蝶閥,有效阻止火災(zāi)蔓延;
H. 工作照明:機臺頂部配防腐防爆照明;
I. DI/N2 GUN:設(shè)備配美國-TEQCOM PTFE N2 Gun 和DIW Gun 各1 把,置于工作設(shè)備兩側(cè);
J. 電器部分:采用觸摸屏+PLC 控制,電器元器件均采用Schneider&Omron;
蘇州晶洲裝備科技有限
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SUZHOU KZONE EQUIPMENT TECHNOLOGY CO.,LTD.
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