無蠟吸附墊

無蠟吸附墊

無蠟拋光模板又叫吸附墊,背附墊，無蠟拋光墊，主要用于半導(dǎo)體硅晶體材料，寶石晶體片，硅片外延片等產(chǎn)品的單面拋光，屬于電子材料的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)、硅片用水（或研磨液）粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實(shí)用新型，可對(duì)硅片，藍(lán)寶石進(jìn)行無蠟拋光，其表面總厚度變化小于6μm，省時(shí)、省力，本實(shí)用新型制造簡(jiǎn)單、成本低。

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