鋁合金鏡面拋光皮
SUNHIN系列拋光阻尼布用于對半導(dǎo)體晶片的半精拋或精拋,以獲得沒有缺陷的晶片表面,。
型號
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厚度(mm)
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壓縮比(%)
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SH-14
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1.30
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14.3
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SH-08
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0.80
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12.3
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SH-05
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0.50
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10.6
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拋光墊規(guī)格項(xiàng)目
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具體內(nèi)容參數(shù)
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拋光墊常用尺寸
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圓形片380mm
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圓形片460mm
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圓形片610mm
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圓形片910mm
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圓形:230(mm)、380(mm)、640(mm)、610(mm)、820(mm)、920(mm)、960(mm)、1180(mm)。厚度從0.45-1.5(mm),最大寬幅:1.35M
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拋光墊常用厚度
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0.45-1.5mm
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拋光墊的深加工
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可針對適用之項(xiàng)目制作不同尺寸形狀,制作剖溝、沖孔及背膠加工。
可提供背PT耐酸堿AB雙面膠(無殘留膠)、貼合不同厚度緩沖墊及膠板。
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可提供背PT雙面膠,刻方格槽、壓痕槽、螺紋溝槽。
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SUNHIN 系列拋光墊片可以對硅片、砷化鎵、磷化銦、玻璃硬盤、光學(xué)玻璃、金屬制品、藍(lán)寶石晶片、碳化硅晶片等材質(zhì)或工件進(jìn)行精密拋光。SUNHIN精拋光布 (Final polishing pad)以聚氨酯為主體材料,經(jīng)涂層,發(fā)泡,削平及拉毛等工藝制成,它的特點(diǎn)是毛長,微孔大,吸藥性強(qiáng),同時,背面涂有高阻水性膠膜,粘結(jié)強(qiáng)度大,不宜脫落。SUNHIN擁有專門在拋光墊表面制作各種形狀溝槽的設(shè)備及工藝,可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)制作各種形狀溝槽。溝槽邊緣成圓弧狀,由于無切銑從而無碎屑及毛絲殘留,也無表面硬化問題。