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公司基本資料信息
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不銹鋼/銅鏡面拋光皮
物性說明:
品名 (ARTICLE NO): 不銹鋼/銅鏡面拋光皮
用途 (FOR USES) : 精拋
物理性質(zhì)各項參數(shù) ( PHYSICAL PROPERTIES )
項目 |
重量 |
厚度 |
密度 |
壓縮率 |
彈性率 |
硬度 |
絨長 |
開口徑 |
單位 |
g/m2 |
mm |
g/m3 |
% |
% |
Asker C |
μm |
μm |
測定值 |
539 |
1.54 |
0.35 |
2.9 |
70 |
60 |
570 |
50 |
(物理性質(zhì)數(shù)據(jù)只是測定數(shù)值,不作為規(guī)格數(shù)值。)
(The above is not standard, but measured figures.)
產(chǎn)品特點:
v 材料的親水性:
采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,對于拋光液的濡濕性(親水性)出眾.
v 基層纖維厚度的均一性:
拋光壓力及拋光液的流動量均一
v 起泡的泡囊長度均一性:
拋光壓力及拋光液的流動量均一以及拋光效率的均一性高
v 起泡的泡囊形狀均一性:
拋光液的含量均一,因此拋光效率均一性高
v 起泡的泡囊的開口口徑均一性:
拋光效率均一性高
v 基層材料采用微細纖維,厚度均一性及壓力均一性都優(yōu)越,拋光效率高
v 絨毛長度更長,良好的親水性和拋光液流動率,通過減薄工藝,更好保持拋光后的面型精度
v 兼容性好,藍寶石,水晶,晶片的精拋光用
CMP拋光布廣泛應用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍寶石、水晶、金屬等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導體(硅片)、京瓷(藍寶石)、并木(藍寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。