不銹鋼/銅鏡面拋光皮
物性說明:
品名 (ARTICLE NO): 不銹鋼/銅鏡面拋光皮
用途 (FOR USES) : 精拋
物理性質(zhì)各項(xiàng)參數(shù) ( PHYSICAL PROPERTIES )
項(xiàng)目
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重量
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厚度
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密度
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壓縮率
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彈性率
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硬度
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絨長
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開口徑
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單位
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g/m2
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mm
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g/m3
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%
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%
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Asker C
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μm
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μm
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測定值
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539
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1.54
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0.35
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2.9
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70
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60
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570
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50
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(物理性質(zhì)數(shù)據(jù)只是測定數(shù)值,不作為規(guī)格數(shù)值。)
(The above is not standard, but measured figures.)
產(chǎn)品特點(diǎn):
v 材料的親水性:
采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,對于拋光液的濡濕性(親水性)出眾.
v 基層纖維厚度的均一性:
拋光壓力及拋光液的流動(dòng)量均一
v 起泡的泡囊長度均一性:
拋光壓力及拋光液的流動(dòng)量均一以及拋光效率的均一性高
v 起泡的泡囊形狀均一性:
拋光液的含量均一,因此拋光效率均一性高
v 起泡的泡囊的開口口徑均一性:
拋光效率均一性高
v 基層材料采用微細(xì)纖維,厚度均一性及壓力均一性都優(yōu)越,拋光效率高
v 絨毛長度更長,良好的親水性和拋光液流動(dòng)率,通過減薄工藝,更好保持拋光后的面型精度
v 兼容性好,藍(lán)寶石,水晶,晶片的精拋光用
CMP拋光布廣泛應(yīng)用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍(lán)寶石、水晶、金屬等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導(dǎo)體(硅片)、京瓷(藍(lán)寶石)、并木(藍(lán)寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍(lán)寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。