產(chǎn)品特點(diǎn):
v 材料的親水性:
采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,對(duì)于拋光液的濡濕性(親水性)出眾.
v 基層纖維厚度的均一性:
拋光壓力及拋光液的流動(dòng)量均一
v 起泡的泡囊長(zhǎng)度均一性:
拋光壓力及拋光液的流動(dòng)量均一以及拋光效率的均一性高
v 起泡的泡囊形狀均一性:
拋光液的含量均一,因此拋光效率均一性高
v 起泡的泡囊的開(kāi)口口徑均一性:
拋光效率均一性高
v 基層材料采用微細(xì)纖維,厚度均一性及壓力均一性都優(yōu)越,拋光效率高
v 絨毛長(zhǎng)度更長(zhǎng),良好的親水性和拋光液流動(dòng)率,通過(guò)減薄工藝,更好保持拋光后的面型精度
v 兼容性好,藍(lán)寶石,水晶,晶片,鋁合金,不銹鋼等金屬五金的精拋光用
CMP拋光布廣泛應(yīng)用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍(lán)寶石、水晶、金屬等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導(dǎo)體(硅片)、京瓷(藍(lán)寶石)、并木(藍(lán)寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍(lán)寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。