天津微納制造技術(shù)有限
公司于2005年11月在天津經(jīng)濟技術(shù)發(fā)區(qū)（泰達TEDA）注冊成立，隸屬于天津大學。公司坐落于泰達天大科技園園區(qū)內(nèi)，一期規(guī)劃占地2000平方米，是微納制造領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。天津微納制造技術(shù)有限公司引進海外管理與技術(shù)骨干構(gòu)建核心團隊，依靠泰達良好的產(chǎn)業(yè)化環(huán)境和天大科技園技術(shù)創(chuàng)新的孵化機制構(gòu)成創(chuàng)業(yè)優(yōu)勢，以微納制造領(lǐng)域的一流企業(yè)作為自己的發(fā)展目標，將為拉動以天津濱海新區(qū)為核心的環(huán)渤海經(jīng)濟圈的先進制造技術(shù)發(fā)展發(fā)揮重要作用。
天津微納制造技術(shù)有限公司重點發(fā)展光學及光電子儀器及系統(tǒng)、生物及醫(yī)療儀器與設(shè)備、高技術(shù)日用品、航空航天及計算機外圍設(shè)備等領(lǐng)域中的核心、精密及微小器件的研發(fā)、加工和制造。在非球面及自由光學曲面加工、脆性材料加工、聚焦離子束加工（FIB）、超精密加工及測量等方面具有雄厚實力，將為來自科研機構(gòu)與工業(yè)界在高精度、復(fù)雜形面、及微小元器件的需求提供高質(zhì)量的設(shè)計、加工、檢測、技術(shù)咨詢、產(chǎn)品制造、售后咨詢及維護等服務(wù)。
天津市微納制造技術(shù)工程中心經(jīng)天津市科委批準，于2006年12月組建。中心以天津微納制造技術(shù)有限公司作為依托企業(yè)和運行實體，中心與公司采用MNMT作為一致的標識進行商標注冊，并以此為基礎(chǔ)建立統(tǒng)一的CI體系。天津大學作為MNMT的科研依托單位，以精密儀器與光電子工程學院及掛靠其下的精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室為MNMT提供原創(chuàng)性科研、技術(shù)以及人員方面的支撐。
天津市微納制造技術(shù)工程中心，旨在研究與開發(fā)非球面及自由光學曲面加工、脆性材料加工、微納加工、超精密加工及測量技術(shù)，從而形成基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化的平臺。其自有技術(shù)開發(fā)、項目委托開發(fā)、成果轉(zhuǎn)化及技術(shù)服務(wù)等為相關(guān)科研院所和高技術(shù)企業(yè)突破制造技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)，而且可打破國外企業(yè)在相關(guān)領(lǐng)域的壟斷地位，形成高精度及微小關(guān)鍵元器件國產(chǎn)化的格局，帶動高技術(shù)產(chǎn)品制造產(chǎn)業(yè)鏈的形成。
聚焦離子束技術(shù)（FIB）是一種集形貌觀測、定位制樣、成分分析、薄膜沉積和刻蝕等過程于一身的新型納米加工與分析技術(shù)。MNMT利用聚焦離子束技術(shù)，能夠進行聚焦離子束刻蝕加工，同時可實現(xiàn)在線電鏡高分辨率檢測；通過氣體注入系統(tǒng)進行鉑沉積，結(jié)合樣品微操作裝置，可進行微/納結(jié)構(gòu)與器件的制備和結(jié)構(gòu)優(yōu)化研究。主要應(yīng)用包括高精度復(fù)雜微/納結(jié)構(gòu)和器件、微刀具、碳納米管器件及TEM樣品制備等。目前，MNMT已經(jīng)成功開發(fā)了西門子星、小于100nm線寬的納米掩模、生物光學芯片及微納衍射光學元件等高精度難加工關(guān)鍵器件。 應(yīng)用范圍：
?高精度復(fù)雜微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工與制造
?微電子集成電路的缺陷檢測分析和修整
?TEM樣品的制備和提取
?微納米生物芯片和光學器件加工
?微刀具制造
?微機電系統(tǒng)（MEMS）加工
同步實現(xiàn)FIB加工和SEM（掃描電鏡）測量，具備納米加工-納米原型設(shè)計-2D/3D納米表征-納米分析（包括：3維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析等）能力,實現(xiàn)微/納米元件（如三維微/納結(jié)構(gòu)、微刀具、碳納米管器件等）的制備和性能檢測。
