金屬濺射靶材形狀尺寸大致如下:
圓片,圓臺(直徑<300mm,厚度>1mm)
矩形,片材,臺階片(長<600mm,寬<250mm,厚度>1mm)
管材,圓環(huán),旋轉(zhuǎn)靶材(直徑<300mm,厚度>2mm)
其它按客戶要求訂制,可按圖紙加工,大尺寸需來電來函洽談。
材料列表:金屬材料(單一元素材料)
材料名稱
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化學(xué)符號
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純度
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規(guī)格
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金屬鋁靶材
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Al
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99.99%,99.999%,99.995%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,管型靶材,按圖紙加工
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金屬鉍靶材
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Bi
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99.999%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬硼靶材
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B
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99.999%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鎘靶材
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Cd
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99.999%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鈰靶材
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Ce
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99.95%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鉻靶材
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Cr
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99.5%,
99.9%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,管型靶材,按圖紙加工
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金屬鉻靶材
|
Cr
|
99.95%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,管型靶材,按圖紙加工
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金屬銅靶材
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Cu
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99.99%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,管型靶材,按圖紙加工
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金屬銅靶材
|
Cu
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99.9999%,99.9999%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,管型靶材,按圖紙加工
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金屬鏑靶材
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Dy
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99.99%
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圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鉺靶材
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Er
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99.99%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬銪靶材
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Eu
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99.99%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬釓靶材
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Gd
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99.99%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鍺靶材
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Ge
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99.999%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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貴金屬金靶材
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Au
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99.99%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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碳,石墨靶材
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C
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99.999%
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圓片靶,矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鉿靶材
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Hf
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99.95%
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圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鈥靶材
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Ho
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99.99%
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圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬銦靶材
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In
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99.999%
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圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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貴金屬銥靶材
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Ir
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99.99%
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圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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金屬鐵靶材
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Fe
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99.9%
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圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺階片靶,按圖紙加工
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