Zeta-20臺式光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 該系統(tǒng)采用ZDot?專利技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng),可以對各種不同的樣品進行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。
Zeta-20的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot?測量模式可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。 ZDot或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進行測量。 Zeta-20也是一種高端顯微鏡,可用于樣品復(fù)檢或自動缺陷檢測。 Zeta-20通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
主要功能
· 采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀,具有廣泛的應(yīng)用
· 可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡
· ZDot:同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠焦點圖像
· ZXI:白光干涉測量技術(shù),適用于z向分辨率高的廣域測量
· ZIC:干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)
· ZSI:剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像
· ZFT:使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率
· AOI:自動光學(xué)檢測,并對樣品上的缺陷進行量化
· 生產(chǎn)能力:通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量
主要應(yīng)用
· 臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度
· 紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度
· 外形:3D翹曲和形狀
· 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
· 薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度
· 缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷
· 缺陷復(fù)檢:采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置