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Zeta-20臺式

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基本參數(shù)
服務(wù)項目 瀏覽量24 發(fā)布時間2019-09-02
品牌TLA 所在地 起訂≥1 臺
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詳細(xì)說明

Zeta-20臺式光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 該系統(tǒng)采用ZDot?專利技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng),可以對各種不同的樣品進(jìn)行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-20的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot?測量模式可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。 ZDot或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進(jìn)行測量。 Zeta-20也是一種高端顯微鏡,可用于樣品復(fù)檢或自動缺陷檢測。 Zeta-20通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

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主要功能

·        采用ZDotMulti-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀,具有廣泛的應(yīng)用

·        可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡

·        ZDot同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點圖像

·        ZXI白光干涉測量技術(shù),適用于z向分辨率高的廣域測量

·        ZIC干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

·        ZSI剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像

·        ZFT使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

·        AOI自動光學(xué)檢測,并對樣品上的缺陷進(jìn)行量化

·        生產(chǎn)能力:通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量


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主要應(yīng)用

·        臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度

·        紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

·        外形:3D翹曲和形狀

·        應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

·        薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

·        缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

·        缺陷復(fù)檢:采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置


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