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名稱:晶片擴(kuò)片機(jī)/擴(kuò)晶機(jī)
一. 機(jī)器用途:
SH2002型晶片擴(kuò)張機(jī)被廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管、中小型功率三極管、集成電路和一些特殊半導(dǎo)體器件生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)的晶粒擴(kuò)張工序。
二. 機(jī)器特點(diǎn):
1、采用雙氣缸上下控制;
2、恒溫設(shè)計(jì),膜片周邊擴(kuò)張均勻適度;
3、加熱、拉伸、擴(kuò)晶、固膜一次完成;
4、加熱溫度、擴(kuò)張時(shí)間、回程速度均勻可調(diào)。
5、操作簡(jiǎn)便,單班產(chǎn)量大。
三.技術(shù)參數(shù):
1.電源電壓: AC220V±10%,50Hz
2.工作氣壓: 4Kg/cm2
3.溫度范圍: 室溫0~400℃
4.上氣缸行程:150/200 mm
5.下氣缸行程:100 mm(可雙向調(diào)節(jié))
6.?dāng)U張面積: 120/270 cm2
7.外型尺寸: 長(zhǎng)250/290mm×寬235/265mm×高950mm
8.機(jī)器重量: 20kg