FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊,下面部分為過(guò)濾器。根據(jù)潔凈度的要求,過(guò)濾器可為不同等級(jí)的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過(guò)濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡(jiǎn)便,風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活,潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn),因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一?!?nbsp;
該機(jī)組設(shè)計(jì)整體靈活,便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當(dāng)過(guò)濾器采用刀邊型框架時(shí),這種機(jī)組也可用于液槽密封吊頂骨架,根據(jù)設(shè)計(jì)的規(guī)格,他可輕而易舉配合任何吊頂骨架,達(dá)到潔凈等級(jí)要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼,各具特色。采用這種機(jī)組,可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣,而且空氣流通好。它適合用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動(dòng)器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對(duì)空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。
FFU具有特點(diǎn)
第一:靈活性。
因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的,它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會(huì)帶來(lái)二次投資。
第二:可再利用性。
從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來(lái),密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負(fù)壓通風(fēng)。
這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運(yùn)行成本。
雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。