北京GMP潔凈室施工廠家是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性?!?
北京GMP潔凈室施工廠家最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于.微米粒徑的微塵數(shù)量控制在個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。.uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的K級別。
北京GMP潔凈室施工廠家按其氣流狀態(tài)來區(qū)分,主要分為亂流(非單向流)潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室(也有稱矢流潔凈室的),這一節(jié)主要討論亂流潔凈室。前面已經(jīng)指出,不論是哪一種潔凈室,都是紊流流態(tài)。那為什么不都叫紊流潔凈室呢?
亂流潔凈室的名稱是借用于日文,但是日文的亂流就是紊流的意思,而中國最早在《空氣潔凈技術(shù)措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學(xué)上的紊流這一專有名詞?,F(xiàn)在國際上則習(xí)慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。
所謂亂流潔凈室,一般包括以下各種送風(fēng)形式:
⑴高效過濾器頂送(有擴散板和無擴散板
?、屏骶€型散流器頂進(jìn)
?、蔷植靠装屙斔?
?、葌?cè)送