凈化
彩鋼板凈化工程 無塵車間 潔凈室無塵室車間工程復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
?、艥崈羲淼溃–leanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧良壱陨希晒?jié)省安裝運轉費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
?、茲崈艄艿溃–leanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
?、遣⒀b局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級,~,之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為~級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈工作臺:等級Class ~級。
凈化彩鋼板凈化工程 無塵車間 潔凈室無塵室車間工程潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為~級,高度在.米左右,覆蓋面積約m以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配?!?
凈化彩鋼板凈化工程 無塵車間 潔凈室無塵室車間工程潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達.~.%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。