風(fēng)速的控制
昌平正壓潔凈室 昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選.~.m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。 昌平正壓潔凈室 昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。 昌平正壓潔凈室 昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室 垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（.m/s，.m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而.m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在.~.m/s之間。影響因素昌平正壓潔凈室 昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室 影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距/之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低?！〔秸龎簼崈羰?昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室 潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：
?、盘旎ò逑到y(tǒng)：包括吊桿（Ceilingrod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。 ?、瓶照{(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等?！ 、歉魤Π澹≒artitional wall）：包括窗戶、門?！ 、鹊匕澹喊ǜ呒艿匕寤蚍漓o電舒美地板?！ 、烧彰髌骶撸喊ㄈ展鉄?、黃色燈管等?！ 崈羰抑ㄖ黧w構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件： A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕； B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子； C.吸濕性?。弧 .為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
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