風(fēng)速的控制
昌平正壓潔凈室 昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選.~.m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果?! 〔秸龎簼崈羰?昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無(wú)法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難?!〔秸龎簼崈羰?昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室 垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(.m/s,.m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而.m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在.~.m/s之間。影響因素昌平正壓潔凈室 昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室 影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距/之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因而將受到污染,良率也勢(shì)必降低?!〔秸龎簼崈羰?昌平負(fù)壓潔凈室 昌平防靜電潔凈室 潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:
?、盘旎ò逑到y(tǒng):包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)?! 、瓶照{(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。 ?、歉魤Π澹≒artitional wall):包括窗戶、門(mén)?! 、鹊匕澹喊ǜ呒艿匕寤蚍漓o電舒美地板?! 、烧彰髌骶撸喊ㄈ展鉄簟ⅫS色燈管等?! 崈羰抑ㄖ黧w構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件: A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕; B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子; C.吸濕性?。弧 .為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。