去PSG（磷硅玻璃）清洗機
目的：1去除硅片表面的P-Si玻璃層（PSG）,為加鍍減反射膜做準備 在形成PN結的擴散過 程中，在硅片表面形成一層一定厚度的磷硅玻 璃，磷硅玻璃不導電，為了形成良好的歐姆接觸，減少光的反射，在沉積減反射膜之前，將磷硅玻璃腐蝕。
2磷硅玻璃使硅片在空氣中容易受潮，導致電流的降低和功率的衰減
3死層的存在大大增加了發(fā)射區(qū)電子的復合，會導致少子壽命的降
4磷硅玻璃的存在使得PECVD后產生色差。
使用去磷硅玻璃（PSG）清洗機注意事項：1，及時甩干，避免水文印。2，注意硅片正反方向不要差錯。
蘇州晶洲裝備科技
公司，大量銷售全自動去磷硅玻璃（PSG）
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