激光摻雜機(jī)

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選擇性發(fā)射結(jié),高效太陽(yáng)能電池,背接觸電池,飛行光路,多工位

激光摻雜機(jī)

　　本設(shè)備將激光技術(shù)運(yùn)用到太陽(yáng)能硅片表面非接觸式激光加工技術(shù)，選擇一種特殊的新型激光器，配合適當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)，在硅表面形成一層刻痕，經(jīng)過(guò)清洗之后對(duì)刻痕區(qū)域進(jìn)行摻雜，最后用電鍍或絲印的方式在槽內(nèi)形成電極，以起到前表面電接觸柵極的作用。用這種方法制備的電極度很窄具有很低的表面覆蓋率，而且還具有高的縱深比，能夠更好地吸收載流子，可以提高太陽(yáng)電池的開(kāi)路電壓Voc，短路電流Isc和填充因子F.F.，從而提高光一電轉(zhuǎn)換效率。

應(yīng)用領(lǐng)域及用途：
晶體硅太陽(yáng)能電池選擇性擴(kuò)散（LDSE），激光摻雜機(jī)是一款在太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中用來(lái)作選擇性重?fù)教岣咛?yáng)能電池效率的專用激光設(shè)備。利用激光將電池片表面磷源作選擇性摻雜形成重?fù)诫s區(qū)以降低歐姆接觸，結(jié)合前道工序的輕摻雜發(fā)射結(jié)和后道工序的電鍍或絲印工藝形成柵極以達(dá)到提高電池效率和帶負(fù)載能力的功效。

設(shè)備特征：
兩工位、六工位、12工位全自動(dòng)平臺(tái)
可配備自動(dòng)化裝卸系統(tǒng)
激光功率自動(dòng)監(jiān)測(cè)
破片自動(dòng)檢測(cè)，碎片率<2‰
加工速度＞5m/s
擴(kuò)散深度＞0.6um
適用硅片單晶/多晶 125mm×125mm/156mm×156mm硅片