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數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計

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詳細(xì)說明

::產(chǎn)品描述::

北京華旭世紀(jì)HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,采用了數(shù)字式技術(shù),相比模擬技術(shù),HXMF05系列產(chǎn)品提高了精度和數(shù)字化程度。它采用了毛細(xì)管熱傳感技術(shù)和熱溫差原理,來測量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關(guān),因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。    

HXMF05系列小流量熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品,采用了緊湊型設(shè)計,體積小巧精致,產(chǎn)品堅固耐用。產(chǎn)品使用了線性化校正電路和EMI保護,具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長等特點。    

在數(shù)據(jù)傳輸上,不但具備傳統(tǒng)的有線式,還具備局域網(wǎng)無線傳輸數(shù)據(jù),互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺等強大功能。

 

::產(chǎn)品特色::

 數(shù)字化技術(shù),更快速的響應(yīng)時間

● 優(yōu)于1%FS的高精度

● 出色的長期穩(wěn)定性

● 可測量腐蝕性氣體,堅固耐用

● 精巧的外觀設(shè)計,全面的安全保護電路及EMI

● 可配專用顯示表,顯示瞬時流量

● 諸多選項:高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸

            遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺、短信報警、郵件報警等

 

::典型應(yīng)用::

· 光伏及晶體制備   · 真空行業(yè)及鍍膜   · 泄漏檢測· 爐窯及微反應(yīng)裝置   · 半導(dǎo)體行業(yè)   · 大學(xué)/研究所· 分析儀器   · 氣體混合配比   · 計量及計價· 燃料電池   · 燃燒測試   · 其它氣體測控場合

 

::性能指標(biāo)::

介質(zhì)要求:與介質(zhì)兼容的氣體,支持腐蝕性氣體

介質(zhì)種類:客戶指定,也可現(xiàn)場更改-需咨詢我們

標(biāo)定工況:0℃ @ 1 atm(氮氣)

測控量程:0~5sccm到0~250slm任選,可定制更高流量范圍

量程比:50:1 

精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取數(shù)值大者(FS-滿量程 RD-讀數(shù))

重復(fù)性:±0.2%F.S.

流量分辨率:0.1%F.S.

響應(yīng)時間:1.5S

閥門狀態(tài):常閉(僅控制器,流量計無閥門)

工作溫度:5~45℃

工作濕度:0~100%RH(無冷凝)

工作壓差范圍:流量計 0.02MPa~3MPa

             控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM為0.1~0.3MPa)

最大耐壓:3MPa,可選高壓選項10MPa

輸入輸出信號:標(biāo)準(zhǔn)為RS485,可選0~5V

通訊協(xié)議:Modbus

供電電壓:24VDC@250mA

電氣接口:DB15pin,2XRJ45

泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)

接液材質(zhì):316L SS

密封材料:根據(jù)氣體種類由廠家選擇或客戶指定,包括:PTF氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等

管道接頭:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8雙卡套,3、6、8、10mm雙卡套

外形尺寸:×寬×高:127×30×128.5mm

產(chǎn)品重量:流量計0.75kg          控制器0.9kg

 

::訂購信息::

· 流量計或控制器   · 氣體種類   · 流量范圍   · 工作溫度         

· 入口壓力   · 出口壓力 · 管道連接尺寸和類型        

· 輸入/輸出信號 · 安裝姿勢   · 選項及其它特殊要求:請咨詢我們

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