Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
· 臺階高度:幾納米至1200μm
· 低觸力:0.03至15mg
· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
· 緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 軟件:用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
· 臺階高度:2D臺階高度和3D臺階高度
· 紋理:2D粗糙度和波紋度
· 形式:2D翹曲和形狀
· 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
工業(yè)應(yīng)用
· 大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
· 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
· SIMS:二次離子質(zhì)譜
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)
· 汽車
· 醫(yī)療設(shè)備
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