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| 品牌TLA | 所在地 | 起訂≥1 臺 |
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Zeta-388光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能，并增加了晶圓盒至晶圓盒機械臂，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用獲得專利的ZDot?技術(shù)和Multi-Mode （多模式)光學系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。
Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學量測技術(shù)。ZDot?測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-388也是一款高端顯微鏡，可用于樣品檢查或自動缺陷檢測。Zeta-388通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
· 采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光學器件的簡單易用的光學輪廓儀，具有廣泛的應用
· 可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡
· ZDot：同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠焦點圖像
· ZXI：白光干涉測量技術(shù)，適用于z向分辨率高的廣域測量
· ZIC：干涉對比度，適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)
· ZSI：剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像
· ZFT：使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率
· AOI：自動光學檢測，并對樣品上的缺陷進行量化
· 生產(chǎn)能力：通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量
· 晶圓傳送機械臂: 自動加載直徑為50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如藍寶石）樣品
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