藍(lán)寶石拋光墊
SH-Q20拋光布廣泛應(yīng)用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍(lán)寶石、水晶等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導(dǎo)體(硅片)、京瓷(藍(lán)寶石)、并木(藍(lán)寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍(lán)寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。
物性說明:
品名 (ARTICLE NO): SH-Q20
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性質(zhì)各項參數(shù) ( PHYSICAL PROPERTIES )
項目
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重量
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厚度
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密度
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壓縮率
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彈性率
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硬度
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絨長
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開口徑
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單位
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g/m2
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mm
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g/m3
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%
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%
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Asker C
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μm
|
μm
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測定值
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645
|
1.4
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0.54
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0.97
|
63
|
96
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--
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--
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TEST
METHOD
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JIS-
K6328
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JIS-
K6328
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JIS-
K6328
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JIS-
L1096
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JIS-
L1096
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JIS-
K6301
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OWN
METHOD
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(物理性質(zhì)數(shù)據(jù)只是測定數(shù)值,不作為規(guī)格數(shù)值。)(The above is not standard, but measured figures.)產(chǎn)品特點:
v 能提高研磨效率,研磨面的表面狀態(tài)如均勻的毛玻璃狀態(tài);
v 采用高硬度的不織布,使用壽命長;
v 可以用來金屬的研磨,并可以使用研磨砂,有相應(yīng)實績;
v 可以根據(jù)用戶要求開槽。
同比市面上較多的羅門哈斯SUBA系列拋光布具有以下優(yōu)點:
v 拋光壽命更長
v 價格更加低廉
v 性能與SUBA系列持平